产品中心
小型1000℃RTP炉OTF-1200X-4-RTP 是一款工整型热治理管式炉,配有4″石英管和真空法兰,是专为半导体或太阳能电池基片的退火而设计。本机选取10KW红外灯管加热,Z快升温速度为 50℃/s,设有30 段温度控制,精度为±1℃。另外,通过RS485口和控制软件可在计算机上兑现实时控制和温度曲线体现。
4″高真空RTP炉OTF-1200X-4-RTP-HV 是一款灵巧型热治理管式炉,配有4″石英管及高真空系统, 是专为半导体或太阳能电池基片的退火而设计。本机采用10KW红外灯管加热,Z快升温速率为50℃/s,设有30 段温度控制,精度为±1℃。此外,通过RS485口和控制软件可在计算机上兑现及时控制和温度曲线再现。
可滑动RTP炉OTF-1200X-4-RTP-SL是一种热办理炉,选取红外灯加热和挪动转移炉体冷却,可获得Z高升温速率为100°C/s 、降温速率为5°C/s。
双管滑动快捷加热冷却炉OTF-1200X-4-C4LVS是出格的双管CVD编制,是专为在金属箔上成长薄膜而设计的,非常适用于新一代能源—柔性金属箔电极方面的考究。本机可通过滑动炉体,兑现加热和冷却。
关注公众号