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PCE-66紫外臭氧清洗机是一款小型紫外臭氧清洗机，可用于清洗万般单晶基片，以担保的成膜质量。同时可去除光刻胶、改善材料外表润湿性、清洗SEM、TEM样品及紫外活化聚合物等。内置加热管，可加热基片，加热温度上限150℃，PID方式控温，可设置三十段升降温措施。带有搅拌功能，用作氧化物包括干法电极电池正极材料的外表处理。

PCE-66紫外臭氧清洗机是一款小型紫外臭氧清洗机，可用于清洗多样单晶基片，以担保的成膜质量。同时也可去除光刻胶、改善资料表面润湿性、清洗SEM、TEM样品及紫外活化聚合物等。内置加热管，可加热基片，最高加热温度150℃，PID方式控温，可设置三十段起落温步调。

PCE-22紫外臭氧清洗机供给了一种无酸、干燥对质料无毁伤的原子级别的清洗霸术，适合铲除少许有机化合物。

PCE-22-LD紫外臭氧清洗机选取不须要任何溶剂的干式清洗技术，对清洗外貌别国毁伤。选取大功率低压石英汞灯，爆发波长185nm和254nm的紫外线，185nm的光没关系氧分子O2转酿成活性的臭氧分子O3，254nm的光同时激发清洗外貌的有机分子，使其容易被臭氧分子吸收并分化。因为臭氧分子存在年华短，且同时被254nm的光分化，所以可调节样品台到灯管的距离优化性能。