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清洗设备
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VTC-200-CE半柜式清洗机选择直线导轨控制柱状液流沿 wafer.半径方正本回扫动,同时配备有去离子水淸洗和氮气吹干功能,选择高精度伺服电机控制 wafer的旋转,由七寸全彩触屏进行操作,全不锈钢机柜,耐魔蚀透明察看盖,丝杆直线导轨,不锈钢内腔,设计合理,经久耐用。伺服马达控制旋转速度和光阴,自动控制显影、清洗和吹干,显影/清洗平均性和频频性好。
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