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HVC-SKJ真空腔体可用作于晶体生长炉炉腔,可用于搭建其他真空体例。
HVC-SS高真空腔体用于自行搭建试验真空系统,如等离子溅射、CVD或ALD等试验,同时也可作为高真空积贮箱。
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