德扑之星(中国区)官方网站

加热台主要用于VTC-600-2HD双靶、VTC-600-3HD三靶磁控溅射仪及GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪的样品台的加热。

密封装置主要用于在空腔室上垂直安装圆柱型元器件，安装孔径为19.2mm。

不锈钢弯头二个接口，两接口为90°垂直且共面散布，主要用于邻接空腔室与相关配件。

四通阀包孕三个接口、1个阀门，呈垂直且共面分布，个中2个KF40接口、1个KF25接口，主要用于相连空腔室与分子泵及真空规管，如磁控溅射仪、蒸发镀膜仪的高真空腔室。

VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子薄膜溅射仪，控制面板采用触摸屏模式，基片极限尺寸为2″，安放样品的直径为Ø50mm，加热温度达500℃。可溅射金、银、铜三种靶材，不可能溅射轻金属和碳。本机采用旋转式样品台，可能递次在同一样品上涂覆三层薄膜，合用于实验室制备复膜的样品。采用PLC控制面

GSL-1100X-SPC-12等离子薄膜溅射仪专门为在基底上镀金属膜而设计，Z大放置样品尺寸直径为40mm，膜厚可达300Å，出格合用于为SEM样品镀金而当作导电。