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德国小型涡轮分子泵EQ-PV-HVS配有KF40真空波纹管和KF25真空计，真空范围从10-3mbar -10-7mbar，启动后短时光获得较高的真空水平，且运行噪音非常低。

高质真空泵YTP550-4E16A是可连续24h工作的旋片式真空泵，其出气口上配有立式油污过滤器，能够减少泵油的损耗，同时避免情况污染。

进口无油真空泵ACP15因为泵内无油，于是在真空状态下无油雾发作，从而为试验提供了一个清洁的低压处境，相符与我司管式炉联合使用，组成低压CVD体系。

单级旋片式真空泵TW-3A配有油污过滤器，可能过滤真空泵在工作时爆发的油烟，不但保险人体健康，并且避免对境遇的污染。

双级旋片真空泵2TW-4C可定制110V。

双级旋片式真空泵VRD系列包括VRD-8、VRD-16。